吹留研究室

設備・装置

装置	装置名
	超高真空薄膜製造評価 一貫システム
	ラマン顕微鏡
	薄膜作成装置・CVD装置
	ドラフトチャンバー＋ クリーンブース
	走査型プローブ顕微鏡 分光エリプソ 紫外線可視分光光度計
	DC・RF電気計測システム
	半導体デバイスアナライザ　他